Как завершить процесс Excel после работы с ним?

Dim oExcel As Excel.Application
Dim oBook As Excel.Workbook
Dim oSheet As Excel.Worksheet
 oExcel = New Excel.Application
 oExcel.Visible = False
 oBook = oExcel.Workbooks.open(.FileName)
 oSheet = oBook.Worksheets(1)
 oSheet.Activate()
' Тут берем данные с листа и творим всякие непристойности
 oSheet = Nothing
 oBook.Close(SaveChanges:=False)
 oBook = Nothing
 oExcel.Quit()
 oExcel = Nothing
 GC.Collect()

        Try
            System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject(oExcel)
            oExcel = Nothing
        Catch ex As Exception
            MsgBox(ex.Message)
        Finally
            GC.Collect()
        End Try

GC.Collect()

    Sub MainProcCreateCalculation()
 
        Dim ExcelFile As New Microsoft.Office.Interop.Excel.Application
        ' Проверка на наличие папки экспорта на компьютере.
        If IO.Directory.Exists("C:\CodifierExport") = False Then
            ' Если папки нет, то она создается.
            IO.Directory.CreateDirectory("C:\CodifierExport")
        End If
        Dim strTamplateFile As String = Form_Main.strAdressDataBase & "\ШАБЛОН.xltm"
        strCode ="Проект_" & Form_Main.TextBox13.Text & " ТЭГ_" & Form_Main.TextBox14.Text
 
        Dim strCalculationFile As String = "C:\CodifierExport\" & strCode & ".xlsx"
        If IO.File.Exists(strCalculationFile) = True Then
            If MsgBox("Файл с именем камеры уже существует в папке экспорта. Перезаписать?", MsgBoxStyle.OkCancel) = vbCancel Then
                Exit Sub
            End If
        End If
        ExcelFile.Workbooks.Open(strTamplateFile)
        ' Сохранение данных по рекомендованным параметрам
        ExcelFile.Range("R20").Value = CDbl(Form_Main.Label58.Text.Replace("%", "")) / 100
        ExcelFile.Range("AB134").Value = CDbl(Form_Main.Label62.Text.Replace(".", ","))
        ExcelFile.Range("AB135").Value = CDbl(Form_Main.Label64.Text.Replace(".", ","))
        ExcelFile.Range("AB136").Value = CDbl(Form_Main.Label66.Text.Replace(".", ","))
        ExcelFile.Range("AB137").Value = CDbl(Form_Main.Label68.Text.Replace(".", ","))
        ExcelFile.Range("AB138").Value = CDbl(Form_Main.Label70.Text.Replace(".", ","))
 
        ExcelFile.Range("BE27").Value = Form_Main.TextBox13.Text
        ExcelFile.Range("BE28").Value = Form_Main.TextBox14.Text
 
        ' Сохранение данных в файле калькуляции и закрытие Excel
        ExcelFile.DisplayAlerts = False
        ExcelFile.ActiveWorkbook.SaveAs(strCalculationFile)
        ExcelFile.DisplayAlerts = True
        ExcelFile.ActiveWorkbook.Close()
        ExcelFile.Application.Quit()
        Try
            System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject(ExcelFile)
            ExcelFile = Nothing
        Catch ex As Exception
            MsgBox(ex.Message)
        End Try
        GC.Collect()
 
    End Sub

        Dim ExcelFile As New Microsoft.Office.Interop.Excel.Application
 
        ExcelFile.Application.Quit()
        Marshal.ReleaseComObject(ExcelFile)
        GC.Collect()
        GC.WaitForPendingFinalizers()

Private Sub Button1_Click(...)
   MainProcCreateCalculation()
   GC.Collect()
End Sub